是否接受進口

拒絕進口

品牌

無推薦品牌

型號

無推薦型號

技術規格及參數

1.1電壓范圍：220VAC±20％，3線，帶地線（PE）；
1.2頻率范圍：47Hz~53Hz；
1.3輸入電流：5.3A；
1.4浪涌電流：冷啟動40A；
1.5功率因數：PF≥0.95（最大功率輸出時）；
1.6效率：≥70％（輸出功率大于100W，并且負載為標準50歐時）；
1.7輸出頻率：13.56MHz±50ppm；
1.8功率：最小功率5W，最大功率600W，連續可調；
1.9最大反射功率：100W,如果反射功率大于100W，射頻電源會降低輸出，保持發射不大于100W；
配套附件：
1、真空腔室：尺寸φ500×H420mm,材質SUS304優質不銹鋼，圓柱形、前開門結構。（1件）
2、基片臺：尺寸φ150mm，可0～20轉/分鐘旋轉，可加熱至500℃，可調可控，基片臺帶有絕緣設計，可加負偏壓，帶氣動擋板。（1件）
3、濺射靶：3套3英寸永磁靶，靶角度、靶基距免拆卸手動可調，帶獨立氣動擋板。
4、真空系統：采用復合分子泵（1200L/S）+直聯高速旋片式真空泵(9L/S)+高真空閥門+數顯復合真空計。（1件）
5、氣路：Ar，100sccm；N2，50sccm；O2，20sccm。（1件）
6、水路氣體：配制冷量5.17KW冷水機（1件）；配最大排氣量115L/min空壓機（1件）。
7、自動恒壓系統，薄膜規+電機驅動控制閥+控制軟件閉環自動控制；保持鍍膜時工藝壓力穩定。（1件）
8、電氣控制：PLC+觸摸屏半自動控制系統。（1件）
9、機架：機架和控制柜一體化設計，碳鋼制作，表 (略) 理，配腳輪。（1件）
10、靶材：鉑99.99%，φ76.2×2mm，1塊；銅，φ76.2×3mm，1塊；鎳99.995%，φ76.2×2mm，1塊；鉻99.95% ，φ76.2×5mm，1塊；鎳鉻合金（鎳90:鉻10），φ76.2*5mm，1塊。

質保期

1.產品質保2年，質保期內維修免費（人為損壞因素除外），質保期以外設備的維護，只收取成本費。
2.為保證售后服務質量，設備必須提供制造廠家授權文件和售后服務承諾
3.所響應產品必須是全新、未使用過的原裝合格正品（包括零部件）

售后要求

24小時內響應客戶，重大問題48小時內到達現場