A*其他儀器儀表

等離子增強型化學氣相沉積系統為中國石油大學（華東）海洋能源勘探開發裝備與技術中心建設的關鍵設備，能滿足海洋磁力量子精密探測與通信技術及應用需求，該系統以其低溫沉積高質量薄膜的優勢，為制造高性能微型諧振腔和相干光源芯片提供了技術支撐，是提升海洋探測系統芯片能力的核心設備。等離子增強型化學氣相沉積系統主要包括等離子體生成裝置1套、反應腔體1個、氣路輸送系統1套、真空及溫控系統1套、要求提高系統級聯調試服務，確保各子系統協同工作，包含基板臺與傳輸機構確保沉積均勻性，質保期≥3年，提供7×24小時遠程技術支持，每年提1次預防性維護服務，合同簽訂后60天內完成設備交付，90天內完成系統集成與驗收。