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本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排， (略) 和采購文件為準。
氣相沉積爐
(略) 在采購意向：
(略) * 月政府采購意向
采購單位：
(略)
采購項目名稱：
氣相沉積爐
預算金額：
* . *** 萬元(人民幣)
采購品目：
A *** 真空應用設備,A * (略) 理設備
采購需求概況：
化學氣相沉積系統，1套主要應用于石墨烯的生長，配備等離子系統支持在較低溫度下實現高質量單層沉積；單層覆蓋率可達 * %，均勻性：<±5%；襯底尺寸： 6" 及以下基底或托架(支持小晶圓,小片樣品)；等離子增強沉積溫度低，有可能實現在銅、鎳之外基底上生長石墨烯；工藝速度快，儀器使用效率高；腔壁上的反應和產物沉積少或清洗方便快捷；自帶閉路循環冷凝水系統，減少對安裝設施條件依賴；隨儀器提供多組成熟優化工藝，全自動操作，運行中可實時修改工藝；安全內鎖與氣體泄漏實時監控，有效防范儀器故障和安全事故；
預計采購時間：
***
備注：
用戶單位為石墨烯工程 (略) 。
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