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(略) 華虹宏 (略) X射線熒光光譜儀應用項目 | |||
(略) 市直轄市 (略) 區(qū)川橋路 * 號主車間1A區(qū)域 | * 8 | ||
(略) 華虹宏 (略) | 張素心 | ||
張大煒 | |||
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擴建 | |||
* 、建設(shè)內(nèi)容Fab設(shè)備區(qū)(3F)1A區(qū)域使用X射線熒光光譜儀 * 臺。 * 、建設(shè)規(guī)模使用III類射線裝置X射線熒光光譜儀 * 臺,型號:Rigaku XRF * ;最大管電壓/管電流: * kV/ * mA。主要用來量測半導體硅片、等制程上鍍膜的厚度及材料成份比例以保證品質(zhì)。射線裝置使用地點:公司Fab設(shè)備區(qū)(3F)1A區(qū)域,周圍為光刻區(qū)。設(shè)備組成:光譜儀主單元、X射線發(fā)生器/換熱器單元、運行/ (略) 理系統(tǒng)、配電板自動多樣本負載。工作原理:X熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線( * 次X射線)激發(fā)被測樣品,受激發(fā)的樣品中的每 * 種元素會放射出 * 次X射線,并且 (略) 放射出的 * 次X射線具有特定的能量特性或波長特性,探測系統(tǒng)測量這些放射出來的 * 次X射線的能量及數(shù)量,然后儀器軟件 (略) 收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。 | |||
環(huán)保措施: * 、污染防治措施1、屏蔽防護措施:設(shè)備自帶輻射防護措施(鉛板隔離);設(shè)備有聯(lián)動報警裝置,機臺門板都有連鎖,門板開啟射線會自動關(guān)閉,日常使用不能打開設(shè)備防護板;X射線指示燈位于 (略) ,當這盞燈壞了時,將啟動 * 條安全電路,以免產(chǎn)生X射線。2、警示標識:X射 (略) 所設(shè)置電離輻射警示標志及中文警示說明; (略) 時顯示射線紅色警示燈,告誡無關(guān)人員勿靠近設(shè)備;公司應在射線裝 (略) 設(shè)置警戒線以防無關(guān)人員靠近。3、防護用品和監(jiān)測儀器:為輻射工作人員配備個人劑量計,配備 * 臺輻射監(jiān)測儀。 * 、安全管理措施1、公司設(shè)專職管理人員負責輻射安全管理;2、制定操作規(guī)程、崗位職責、輻射安全管理制度、設(shè)備檢修維護制度、射線裝置臺帳、人員培訓計劃、監(jiān)測方案等管理制度;3、制定輻射事故應急措施;4、輻射工作人員個人劑量計定期送檢并建立個人劑量檔案,委托有資質(zhì)的機構(gòu)定期對輻射 (略) 體檢并建立個人健康檔案;5、輻射工作人員上崗前參加輻射安全和防護知識培訓并取得合格證書。 | |||
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