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| 激光掩膜直寫系統 | |
| 項目所在采購意向： | 華中科技大學2025年4至11月政府采購意向 |
| 采購單位： | 華中科技大學 |
| 采購項目名稱： | 激光掩膜直寫系統 |
| 預算金額： | 850.*萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A*電子工業生產設備 |
| 采購需求概況 ： | 采購數量：1臺，現場調試時間不小于一周，驗收完成以后保修期3年。 1、最大曝光面積:200x200平方毫米 2、最大基板尺寸:g“xg多種寫入模式 3、最小特征尺寸:可達300 nm 4、最大寫入速度(在4um特征尺寸時):2000mm2/min 5、 (略) 格低至5nm高達1000個灰度級的灰度暖光模式矢量和光柵掃描曝光模式多種數據輸入格式 6、前后對齊 7、氣候室 8、兩種激光波長選擇(405 nm或375 nm)實時自動對焦系統 |
| 預計采購時間： | 2025-04 |
| 備注： | |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
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