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| 多腔互聯多功能物理氣相沉積設備 | |
| 項目所在采購意向： | 南京大學2023年12月政府采購意向 |
| 采購單位： | 南京大學 |
| 采購項目名稱： | 多腔互聯多功能物理氣相沉積設備 |
| 預算金額： | 500.*萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A* 其他試驗儀器及裝置 |
| 采購需求概況： | 南京大學擬采購多腔互聯多功能物理氣相沉積系統設備一臺，能夠在集成電路先進工藝中進行金屬、導電材料、氮化物和氧化物的高質量沉積，需具有超高真空磁控濺射和超高真空電子束蒸發兩種設備，經過進樣室連接。主要采購需求如下: 1. 每個腔體都是超高真空腔體；2.兼客6寸及以下晶圓；3.配備原位膜厚監測；4. 工藝溫度范圍:室溫-800℃；5.磁控濺射配備直流和射頻電源；6. 每個磁控濺射腔體配備不少于4個磁控濺射靶槍；7. 樣品臺可旋轉；8. 電子束蒸發腔體配備不少于3個坩堝； 9. 質保期:3年。 |
| 預計采購時間： | 2023-12 |
| 備注： | |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
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