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| 感應耦合等離子刻蝕 | |
| 項目所在采購意向： | zycgr(略)年4至10月政府采購意向 |
| 采購單位： | zycgr(略) |
| 采購項目名稱： | 感應耦合等離子刻蝕 |
| 預算金額： | 700.(略)萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A(略)電氣物理設備 |
| 采購需求概況 ： | 1臺 腔體尺寸：8英寸兼容； 工藝腔本底真空：≤0.5 mTorr； 工藝腔漏氣率：≤1mTorr/min； 工藝控壓范圍：5-85 mTorr； 工藝腔控溫范圍：室溫-100℃； 上射頻電源功率：≥3000W； 下射頻電源功率：≥1500W； 配置工藝氣體：6路，包括Ar,O2，He,N2，SF6, CF6，Cl2 ； 分子泵抽速：≥2000L/s |
| 預計采購時間： | 2025-10 |
| 備注： | |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
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