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待競價詳細( *** )---- (略)
申購單主題:
高真空磁控濺射鍍膜機
申購單位:
(略)
是否含稅:
是
使用幣種:
人民幣
申購備注:
設備名稱
(略) 商
型號
是否標配
規格
數量
報價類型
售后服務
附件
高真空磁控濺射鍍膜機
(略) -托帕
CK *
是
1. 系統主要由濺射室、永磁磁控濺射靶( * 個靶)、直流電源、全自動調諧射頻電源、樣品臺、泵抽系統、真空測量系統、氣路系統、電控系統等組成。 2. 濺射室極限真空度:≤6.6x * -5 Pa (經連續烘烤除氣后);系統真空檢漏漏率:≤5.0x * -7Pa.l/S; 系統從大氣開始抽氣:濺射室 * 分鐘可達到6.6x * -4 Pa; 系統停泵關機 * 小時后真空度:≤5Pa 3. 濺射室中配有3套 * 高性能永磁共焦磁控濺射靶(濺射靶角度可調),各靶可獨立/順次/共同工作,磁控靶通水冷卻,磁控靶配有氣動擋板結構。 4. 系統配有 * W直流電源2臺, * W全自動調諧射頻電源1臺5. 加熱旋轉樣品臺可放置 * 片樣品, 具有連續旋轉功能,旋轉0— * 轉/分連續可調,可加溫至 * ℃。6.真空測量采用國產ZDF- * 復 (略) 測量。 7.系統配有氣體質量流量控制進氣系統 。
1.0
國內含稅價;
人民幣
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“銷邦招標”