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本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排， (略) 和采購文件為準。
低溫離子束刻蝕機
(略) 在采購意向：
(略) * 月政府采購意向
采購單位：
(略)
采購項目名稱：
低溫離子束刻蝕機
預算金額：
* . *** 萬元(人民幣)
采購品目：
A *** 真空應用設備
采購需求概況：
適用晶片尺寸：4&# * ;～8&# * ;，兼容不規則方片；離子束能量：0eV～ * eV連續可調；束流 * mA～ * mA， * 年6月到貨，現場調試時間不小于兩周，驗收完成以后保修期3年。
預計采購時間：
***
備注：
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