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高精度電子束曝光系統(tǒng)招標(biāo)預(yù)告

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    2020-07-02
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高精度電子束曝光系統(tǒng)
(略) 在采購意向： (略) * 月政府采購意向
采購單位： (略)
采購項目名稱： 高精度電子束曝光系統(tǒng)
預(yù)算金額： * . *** 萬元(人民幣)
采購品目：
A *** 射線式分析儀器
采購需求概況：
擬購高精度電子束曝光系統(tǒng)1臺。可以提供5nm以上到 * m以下尺寸范圍的納米加工。質(zhì)保期為貨到驗收合格之日起1年。合同簽訂后6-8月交貨。
預(yù)計采購時間： ***
備注：

本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排， (略) 和采購文件為準(zhǔn)。



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