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| 超凈特氣輸運與處理系統 | |
| 項目所在采購意向： | 電子科技大學2022年11月政府采購意向 |
| 采購單位： | 電子科技大學 |
| 采購項目名稱： | 超凈特氣輸運與處理系統 |
| 預算金額： | 379.*萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A*電子工業專用生產設備 |
| 采購需求概況 ： | 超凈特氣輸運與處理系統主要用于半導體工藝線各道工藝所需的特氣輸運與處理。特氣工藝采用40L鋼瓶配置；閥門材質為SS316 EP；具有排空、吹掃功能，半自動切換功能；可實現PLC控制、低壓報警、泄漏報警、緊急切斷、雙級過濾（0.003μm）；頂部觸摸屏實時顯示鋼瓶壓力、泄漏數值等數據；PLC自帶通訊接口；所有閥門及減壓閥均為專用，滿足氣體特性要求，接口均為VCR；烤漆箱體，箱體采用2.5mm厚優質冷軋鋼板；微負壓設計，具有 (略) 玻璃觀察窗；帶鋼瓶固定架；柜體帶排風口；帶煙感、溫感偵測，噴淋，與PLC安全聯動報警；能兼容和接入6種惰性高純氣源，切換均為半自動切換；系統配置有機、無機、高溫廢氣處理能力，配 (略) 與末端裝置、電氣及相關控制裝置。該系統與超凈空氣系統處理裝置、超凈純水工藝系統裝置一起進行安裝調試與協同工作，為光電芯片微納加工、半導體工藝、微納器件等研究提供動力保障環境。 |
| 預計采購時間： | 2022-11 |
| 備注： | |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
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