采購單位: | 深圳大學(xué) |
項目名稱: | 玻璃通孔金屬化填充與拋光系統(tǒng) |
預(yù)算金額(元): | 9,# |
采購品目: | 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 |
采購需求概況: | 本項目主要包含玻璃通孔金屬化填充設(shè)備與化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備兩大核心系統(tǒng)。玻璃通孔金屬化填充設(shè)備專為實現(xiàn)TGV(Through Glass Via)內(nèi)部高精度銅填充而設(shè)計,具備以下技術(shù)特性:1)可完美實現(xiàn)30-100μm孔徑范圍內(nèi)的孔內(nèi)銅均勻填充,銅填充均勻性(COV)高達(dá)95%以上;2)兼容6英寸和8英寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓加工,支持0.3-1.0mm厚度范圍的玻 (略) 理。設(shè)備集成先進(jìn)的真空預(yù)浸系統(tǒng)和精密電鍍系統(tǒng)(含陰陽極配置),配套高精度超聲波流量計(精度達(dá)±0.5%FS)和智能天車系統(tǒng)(重復(fù)定位精度≤±0.1mm),確保工藝過程的高度可控性。 化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備采用全自動化設(shè)計,主要功能包括:1)選擇性去除表面凸起金屬,實現(xiàn)晶圓表面納米級平坦化;2)支持6/8英寸晶圓雙 (略) 理,提供刷內(nèi)出液和刷外滴液兩種化學(xué)品供給模式;3)配備高性能滾刷系統(tǒng)(轉(zhuǎn)速≥120rpm) (略) (晶圓轉(zhuǎn)速80-300rpm可調(diào)),并具備高速甩干功能(≥3000rpm)。該設(shè)備特別優(yōu)化了清洗工藝,通過多級刷洗單元和智能終點檢測系統(tǒng),確 (略) 理的一致性和可靠性。 |
預(yù)計采購時間: | 2025-5 |
聯(lián)系人: | 張老師 |
聯(lián)系電話: | # |
備注: | 無 |
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