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| 超高分辨率電子束光刻及成像系統 | |
| (略) 在采購意向： | (略) * 月政府采購意向 |
| 采購單位： | (略) |
| 采購項目名稱： | 超高分辨率電子束光刻及成像系統 |
| 預算金額： | * . *** 萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A *** 電氣物理設備 |
| 采購需求概況： | 束斑大小 1.6nm最小特征尺寸 (略) 大小 0.5 μm ~2 mm 在此范圍內根據圖形尺寸任意設定成像度量功能 有，放大倍數： * ~ 1, * , * 倍實驗室溫度要求 ±2℃功能可擴展 ； * 小時/年 * 次/年 |
| 預計采購時間： | *** |
| 備注： | |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排， (略) 和采購文件為準。
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