序號

采購項目名稱

采購需求概況

預算金額

（萬元）

擬面向中小企業預留

預計采購時間

（填寫到月）

備注

1

空天信息大學（籌）硅硅自動鍵合設備采購項目

本項目用于空天信息大學（籌） (略) 建設。根據實驗室建設需求，擬通過采購硅硅自動鍵合機實現高精度晶圓級全自動硅硅鍵合工藝，滿足電子 (略) 學院的專業基礎教學和科學研究需求。擬采購的服務的質量標準、安全要求必須滿足國家相關標準、行業標準、地方標準等。采購的服務內容包括但不限于以上內容，以實際采購情況為準。

6800

否

2025年05月

2

空天信息大學（籌）超精密減薄拋光設備采購項目

本項目用于空天信息大學（籌） (略) 建設。根據實驗室建設需求，擬通過采購晶圓臨時鍵合機、晶圓解鍵合機、解鍵合清洗機、臨時鍵合勻膠機、多功能鍵合機、鍵合對準機、超精密減薄機、CMP研磨拋光系統、晶圓紅外檢測系統、光學檢測系統AOI、超聲波掃描顯微鏡等設備，實現超精密減薄拋光工藝。擬采購的服務的質量標準、安全要求必須滿足國家相關標準、行業標準、地方標準等。采購的服務內容包括但不限于以上內容，以實際采購情況為準。

6000

否

2025年05月

3

空天信息大學（籌）高精度圖形轉移設備采購項目

本項目用于空天信息大學（籌） (略) 建設。根據實驗室建設需求，擬通過采購步進式光刻機、光刻機配套勻膠噴膠及顯影系統、光刻機配套等離子去膠機等設備，實現高精度圖形轉移和去膠工藝，滿足電子 (略) 學院的專業基礎教學和科學研究需求。擬采購的服務的質量標準、安全要求必須滿足國家相關標準、行業標準、地方標準等。采購的服務內容包括但不限于以上內容，以實際采購情況為準。

6500

否

2025年06月

4

空天信息大學（籌）材料生長設備采購項目

本項目用于空天信息大學（籌） (略) 建設。根據實驗室建設需求，擬通過采購銅填充電鍍系統、ALD鍍銅機、金屬磁控濺射臺、氧化物磁控濺射臺、熱蒸發臺、多片式電子束蒸發臺、高均勻電子束蒸發臺、電子束蒸發臺、多片式PECVD、PZT磁控濺射臺、真空冷噴涂薄膜沉積系統、氮化鋁磁控濺射臺、二氧化硅化學氣相沉積設備等設備，實現高質量薄膜材料生長工藝，滿足電子 (略) 學院的專業基礎教學和科學研究需求。擬采購的服務的質量標準、安全要求必須滿足國家相關標準、行業標準、地方標準等。采購的服務內容包括但不限于以上內容，以實際采購情況為準。

8600

否

2025年06月

5

空天信息大學（籌）刻蝕設備采購項目

本項目用于空天信息大學（籌） (略) 建設。根據實驗室建設需求，擬通過采購深硅刻蝕、TSV通孔刻蝕、金屬刻蝕機、電介質刻蝕機、電感耦合反應離子刻蝕、二氧化硅刻蝕機、RIE干法刻蝕、PZT刻蝕機、氮化鋁刻蝕機、離子束刻蝕機、KOH腐蝕系統等設備，實現壓電薄膜的高質量制備與高精度加工，滿足電子 (略) 學院的專業基礎教學和科學研究需求。擬采購的服務的質量標準、安全要求必須滿足國家相關標準、行業標準、地方標準等。采購的服務內容包括但不限于以上內容，以實際采購情況為準。

5500

否

2025年07月

6

空天信息大學（籌）MEMS與光電集成設計加工設備采購項目

本項目用于空天信息大學（籌） (略) 建設。根據實驗室建設需求，擬通過采購8英寸光刻機、晶圓清洗機、晶圓干燥機、勻膠機、顯影機、飛秒激光加工系統、雙光子聚合3D打印系統、管式退火爐、快速真空退火爐、離子注入機、多物理場仿真設計軟件、有限元仿真設計軟件、集成光學和半導體電子器件仿真設計軟件、高性能工作站等設備，實現高精度接近式光刻圖形加工與飛秒激光圖形加工，滿足電子 (略) 學院的專業基礎教學和科學研究需求。擬采購的服務的質量標準、安全要求必須滿足國家相關標準、行業標準、地方標準等。采購的服務內容包括但不限于以上內容，以實際采購情況為準。

4400

否

2025年07月

7

空天信息大學（籌）表征測試設備采購項目

本項目用于空天信息大學（籌） (略) 建設。根據實驗室建設需求，擬通過采購聚焦離子束掃描電子顯微鏡FIB+SEM、激光共聚焦顯微鏡、金相顯微鏡、X射線衍射儀、三維光學表面輪廓儀、超快三維探針臺、低溫強磁場真空探針臺、太赫茲射頻探針臺、太赫茲時域頻譜儀、太赫茲三維層析成像系統、高精度太赫茲近場掃描系統、集成光電子測試系統、諧振式MEMS測試臺、直流探針臺及源表設備等設備，滿足電子 (略) 學院的專業基礎教學和科學研究需求。擬采購的服務的質量標準、安全要求必須滿足國家相關標準、行業標準、地方標準等。采購的服務內容包括但不限于以上內容，以實際采購情況為準。

6500

否

2025年08月

8

空天信息大學（籌）封裝設備采購項目

本項目用于空天信息大學（籌） (略) 建設。根據實驗室建設需求，擬通過采購激光隱形切割機、等離子體清洗機、全自動貼片機、倒裝貼片機、塑封固化機、激光植球機、真空回流焊爐、自動點膠機、金絲球焊機、超聲波楔焊機、激光焊接機、平行縫焊機、3D打印機、多功能柔性激光精密加工系統、 (略) 壓合設備、芯粒貼片機等設備，實現高精度后道封裝工藝，滿足電子 (略) 學院的專業基礎教學和科學研究需求。擬采購的服務的質量標準、安全要求必須滿足國家相關標準、行業標準、地方標準等。采購的服務內容包括但不限于以上內容，以實際采購情況為準。

3400

否

2025年09月

9

空天信息大學（籌）重點強化建設實驗 (略) 設計與微納加工設備采購項目

本項目用于空天信息大學（籌）重點強化實驗室建設。根據實驗室建設需求，擬通過采購EDA設計大學計劃軟件包、濕法清洗機。甩干機、光刻機、激光直寫光刻機、深硅刻蝕機、氣態氟化氫釋放系統、電感耦合反應離子刻蝕、各向同性干法硅刻蝕（XeF）、氯基的RIE干法刻蝕、激光輔助玻璃刻蝕機、電鍍、磁控濺射臺、電子束蒸發臺、低壓化學氣相沉積、等離子體增強化學氣相沉積設備、原子層沉積設備（ALD）、擴散爐等設備，滿足電子 (略) 學院的專業基礎教學和科學研究需求。擬采購的服務的質量標準、安全要求必須滿足國家相關標準、行業標準、地方標準等。采購的服務內容包括但不限于以上內容，以實際采購情況為準。

6900

否

2025年05月

10

空天信息大學（籌）重點強化建設實驗室封裝測試表征設備采購項目

本項目用于空天信息大學（籌）重點強化實驗室建設。根據實驗室建設需求，擬通過采購砂輪劃片機、鍵合機、管殼打標機、網絡分析儀、頻譜分析儀、倒置熒光顯微鏡、原子力顯微鏡、方阻測試儀、應力測試儀、非接觸式白光干涉儀、圓片測厚儀、橢偏儀、場發射掃描電鏡、臺階儀、顯微鏡等設備，滿足電子 (略) 學院的專業基礎教學和科學研究需求。擬采購的服務的質量標準、安全要求必須滿足國家相關標準、行業標準、地方標準等。采購的服務內容包括但不限于以上內容，以實際采購情況為準。

1700

否

2025年06月