序號

項目名稱

建設地點

建設單位

環境影響評價機構

項目概況

相關部門意見（審批或核準意見）

公眾參與說明（報告書）

主要環境影響及預防或者減輕不良環境影響的對策和措施

1

(略) 第四十七研究所擴建項目

(略) (略) 道義鎮郭三村孝信街10號

(略) 第四十七研究所

遼寧 (略)

擬對現有減薄背金工藝進行優化升級，以更好滿足產品散熱性能、減小器件導通電阻、縮小后續封裝空間為目的，將現有厚度為300um鍍膜晶圓減薄至100um，并新增2套減薄背金研發及配套設施，研發能力由1千片/年增加到(略)張/年

同意

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1.大氣污染防治措施

（1）有組織排放

晶圓脫水工序產生的非(略)烷總烴，經通風櫥收集，采用二級活性 (略) 理后經25m高排氣筒DA001排放；本次擴建技改現有晶圓腐蝕線與金屬架清洗產生的廢氣氮氧化物、氟化物、(略)酸（以非(略)烷總烴計）、氯化氫，經各自通風櫥收集，收 (略) 匯集至15t/h噴淋 (略) 理，處理后經1根25米高排氣筒DA002排放，新增晶圓腐蝕線產生的氮氧化物、氟化物、(略)酸（以非(略)烷總烴計）、氯化氫經通風櫥收集至28t/h噴淋 (略) 理，處理后通過1根25米高排氣筒DA004排放；危廢貯存庫產生的氮氧化物、氟化物、(略)酸（以非(略)烷總烴計）、氯化氫經密閉負壓收集至一級堿吸收+單級活性炭吸 (略) 理，處理后經1根25米高排氣筒DA005排放。

根據“報告表”，晶圓脫水工序大氣污染物非(略)烷總烴滿足《工業涂裝工序揮發性有機物排放標準》（DB21/3160-2019）表1及表2標準要求；危廢貯存庫與晶圓腐蝕工序大氣污染物氮氧化物、氟化物、非(略)烷總烴、氯化氫滿足《大氣污染物綜合排放標準》（(略)）表2新建污染源二級標準。

（2）無組織排放

晶圓腐蝕、金屬架清洗工序通風櫥未收集產生的氮氧化物、氟化物、(略)酸（以非(略)烷總烴計）、氯化氫及晶圓脫水工序通風櫥未收集產生的非(略)烷總烴以無組織形式排放。根據“報告表”，項 (略) 氮氧化物、氟化物、氯化氫滿足《大氣污染物綜合排放標準》（(略)）表2限值要求， (略) 非(略)烷總烴滿足遼寧省《工業涂裝工序揮發性有機物排放標準》（DB21/3160-2019）表3標準，廠區內非(略)烷總烴滿足《揮發性有機物無組織排放控制標準》（(略)）中表A.1的標準限值要求。

項目選用碘值不低于800毫克/克的活性炭，危廢貯存庫吸附廢氣的活性炭每2個月更換1次，單次更換量0.1噸、晶圓脫水工序吸附廢氣的活性炭每7個天更換1次，單次更換量0.2噸。

本項目新增VOCs總量為1.247t/a、NO_X總量為0.661t/a。

2.水環境污染防治措施

噴淋塔廢水、減薄背金清洗廢水、純水制備廢水一并排入工藝為“調節+中和+混凝沉淀”的自 (略) 理，處 (略) (略) 進入道 (略) 理廠。根據“報告表”，pH值、COD、氨氮、SS排放均滿足《電子工業水污染物排放標準》（(略)）表1水污染物間接排放限值，氟化物滿足表1污染物直接排放標準，BOD滿足《遼寧省污水綜合排放標準》（DB21/1627-2008）表2標準要求。

本項目實施后全廠COD、NH₃-N總量控制指標分別為2.515t/a，0.2515t/a。

3.噪聲污染防治措施

項目通過采用低噪聲設備、建筑隔聲等措施降噪。根據“報告表”，項目廠界噪聲滿足《工業企業廠界環境噪聲排放標準》(GB(略).2008) 1類標準。

4.固體廢物污染防治措施

項目污泥收集后外 (略) 理。廢酸、廢試劑瓶和包裝桶、金屬架清洗廢水、廢活性炭、廢石灰屬于危險廢物，暫存于危廢貯存庫，定期交由有資 (略) 理。