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| 先進光電探測與傳感集成技術平臺 | |
| 項目所在采購意向： | 電子科技大學2022年11月政府采購意向 |
| 采購單位： | 電子科技大學 |
| 采購項目名稱： | 先進光電探測與傳感集成技術平臺 |
| 預算金額： | 1000.*萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A*其他專用儀器儀表 |
| 采購需求概況 ： | 該系統包括雙通道ALD管式爐聯用系統 、超凈空氣系統處理裝置 、超凈特氣輸運與處理系統 、超凈純水工藝系統裝置等4部分。雙通道ALD管式爐聯用系統：原子層沉積（atomic layer deposition, ALD）是通過氣相前驅體及反應物脈沖交替的通入反應腔并在基底上發生表面化學反應形成薄膜的一種方法，通過自限制性的前驅體交替飽和反應獲得厚度、組分、形貌及結構在納米尺度上高度可控的薄膜。該方法對基材不設限，尤其適用于具有高深寬比或復雜三維結構的基材。超凈空氣系統處理裝置為開展半導體微納加工、光電器件制備、微納結構制備等半導體制程提供先決保障條件，用于大面積空氣超凈處理，熱濕處理、氣流控制及精密儀器的工藝冷卻處理。本次采購的全空氣處理系統裝置主要應用于課題組光電芯片微納加工、半導體工藝、微納器件等研究提供動力保障環境。課題組主要研究微納結構的寬波段紅外焦平面探測器與智能傳感器，為實現該微納器件結構制備，必須使用高精度的微細加工設備，所以高精度半導體工藝是必備的技術手段和實現方案，但建設該工藝必須良好的環境外圍保障。擬購置的超凈空氣系統處理裝置主要用于所有工藝的環境過程，保障整個半導體工藝的硅片潔凈度，提升工藝良率。特氣工藝采用40L鋼瓶配置；閥門材質為SS316 EP；具有排空、吹掃功能，半自動切換功能；可實現PLC控制、低壓報警、泄漏報警、緊急切斷、雙級過濾（0.003μm）；頂部觸摸屏實時顯示鋼瓶壓力、泄漏數值等數據；PLC自帶通訊接口；所有閥門及減壓閥均為專用，滿足氣體特性要求，接口均為VCR；烤漆箱體，箱體采用2.5mm厚優質冷軋鋼板；微負壓設計，具有正面鋼絲網玻璃觀察窗；帶鋼瓶固定架；柜體帶排風口；帶煙感、溫感偵測，噴淋，與PLC安全聯動報警；能兼容和接入6種惰性高純氣源，切換均為半自動切換；系統配置有機、無機、高溫廢氣處理能力，配套提供管路與末端裝置、電氣及相關控制裝置。超凈純水工藝系統裝置為開展半導體微納加工、光電器件制備、微納結構制備等半導體制程提供先決保障條件，主要應用于課題組光電芯片微納加工、半導體工藝、微納器件等研究提供動力保障環境。 |
| 預計采購時間： | 2022-11 |
| 備注： | |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
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