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套刻精度量測(cè)設(shè)備
項(xiàng)目所在采購(gòu)意向：	(略) 微電子研究所2025年10至11月政府采購(gòu)意向
采購(gòu)單位：	(略) 微電子研究所
采購(gòu)項(xiàng)目名稱：	套刻精度量測(cè)設(shè)備
預(yù)算金額：	540.(略)萬(wàn)元(人民幣)
采購(gòu)品目：	A(略)-光學(xué)測(cè)試儀器
采購(gòu)需求概況：	采購(gòu)標(biāo)的主要功能：滿足8英寸晶圓在DUV光刻中套準(zhǔn)精度測(cè)量，對(duì)應(yīng)65nm以上工藝節(jié)點(diǎn)。采購(gòu)標(biāo)的需滿足的質(zhì)量，服務(wù)，安全，時(shí)限：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后1年質(zhì)保及一體化環(huán)境工程整體解決方案；設(shè)備訂單生成后10月內(nèi)交貨安裝完成。
預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間：	2025-11
備注：

本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。

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